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靶材的制作方法

2022-06-16

靶材是在电子信息行业中经常使用到的一种材料,虽然它的用途广泛,但寻常大众对于这种材料都了解不深,许多人都很好奇靶材的制作方法是什么?它又是怎样分类的?下面小编就给大家先容下靶材的制作方法及分类应用

  一、靶材的制作方法

  1、铸造法

  铸造法是将一定成分配比的合金原料给熔炼起来,之后再将熔炼后得到的合金溶液浇到模具中,形成铸锭,再经过机械加工后就形成了靶材。铸造法一般需要在真空中熔炼铸造,常见的铸造方法有这几种:真空感应熔炼、真空电弧熔炼以及真空电子轰击熔炼,它的优点是制取的靶材杂质含量小,密度较高,能够大型化制作;缺点是如果是熔炼熔点和密度差别较大的两种及以上的金属时,常规的熔炼法很难制成成分均匀的合金靶材。

  2、粉末冶金法

   粉末冶金法是将一定成分配比的合金原料熔炼,之后再将熔炼后得到的合金溶液浇铸成铸锭,把浇成的铸锭粉碎,将粉碎后的粉末静压成型,然后高温烧结形成靶材。这样做成的靶材优点是成分均匀;缺点是密度低,杂质含量较高。经常用到的粉末冶金工业有冷压、真空热压以及热等静压这几种。


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