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溅射靶材保养方法有哪些?

2022-09-12

 溅射靶材作为一种零件,在微电子领域、显示器等领域中都有着广泛的应用,在溅射靶材的运用过程中,溅射靶材的保养也是不可忽视的方面,常常保养溅射靶材能够减少溅射靶材外表的残留物,进步靶材的运用功率,那么溅射靶材的保养办法有哪些呢?下面丰联科小编带大家来了解一下

  溅射靶材保养办法

  1、溅射靶材维护

  靶材维护能够避免在靶材的溅射过程中,由于溅射靶材不洁净的腔体而导致出现短路或起弧现象,因此需要阶段性地去除靶材溅射轨道中间和两边的堆积物,有助于运用者能接连地以大功率密度进行溅射。

  2、溅射靶材贮存

  对于溅射靶材的贮存,尽量将其贮存在真空包装中,特别是贴合溅射靶材,须在真空条件下贮存,避免出现贴合层氧化导致影响溅射靶材贴合质量。贮存金属溅射靶材时,能够将其贮存在洁净的塑料袋中,不过能真空包装就尽量将其真空包装贮存。

 溅射靶材

  3、溅射靶材清洁

  首先运用在丙酮中浸泡过的无绒软布进行清洁,之后再运用酒精进行清洁,清洁完后运用去离子水对溅射靶材进行清洗,清洗完成后将溅射靶材放在烘箱中以100度的温度烘干30分钟,假如是陶瓷溅射靶材的话主张运用无绒布进行清洗。上述悉数完成后,再用高压低湿气的氩气对溅射靶材进行冲刷,清洗掉会在溅射系统中引起电弧的不纯颗粒。

  4、溅射靶材的短路和密封性查看

  溅射靶材在装置完成后要对整个阴极进行短路查看和密封性查看,一般是运用电阻仪摇表的方式对阴极进行查看,判断它是否存在短路现象,在确保阴极不存在短路现象后,再对它进行密封性查看,将水通入阴极中来判断是否存在漏水的现象。

  5、溅射靶材的包装和运送

  在溅射靶材的运送过程中,尽量将靶材包装在带有防潮剂的真空密封袋中,之后运用木箱做为外包装,并在其四周装置防撞层,保护靶材和背板,避免靶材和背板在运送贮存过程中损坏。


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